Banco para ensayos por vía húmeda de inmersión Revolution

batchpara semiconductorpara obleas

Para los procesos de química húmeda en semiconductores de varios pasos, RENA ofrece un banco húmedo semiautomatizado flexible y compacto, el "Revolution". Esta plataforma consta de un robusto robot rotativo central integrado y hasta 5 depósitos de proceso situados alrededor del robot. El "Revolution" es la solución más idónea, de mínima huella y bajo coste, para aplicaciones que requieren una secuencia de procesos de varios pasos. Permite el tratamiento de superficies de obleas semiconductoras, incluido el grabado, la limpieza y la eliminación de resistencias, tanto en aplicaciones FEoL como BEoL. La "Revolution" ofrece un control y una supervisión superiores del proceso gracias al software IDX Flexware. El IDX Flexware ofrece características y capacidades ventajosas. En función de los requisitos del cliente, se pueden incorporar a esta estación química configuraciones especializadas de tanques de proceso, por ejemplo, tanques patentados de grabado de metales y de despegue de metales. Para los procesos de secado a secado, se pueden integrar los secadores patentados Genesis Marangoni. Todos los sistemas RENA son de fácil mantenimiento y cumplen la interfaz SECS/GEM de host de fábrica. Características y ventajas Capacidad de secado en seco tamaños de oblea de 100 mm a 200 mm Software de control IDX Flexware Secuencias de múltiples pasos Múltiples tecnologías propias Pantalla táctil HMI Robot rotativo robusto Opciones de interfaz SECS/GEM Mini-ambiente como opción Versión de acero inoxidable para aplicaciones con disolventes Flexible y actualizable Adaptado a las especificaciones del cliente Reducción del uso de productos químicos y agua desionizada Menores costes de instalación