Banco para ensayos por vía húmeda de inmersión Advancer

batchpara semiconductorpara obleas

Para el procesamiento húmedo en un solo paso de obleas semiconductoras, RENA ofrece la familia semiautomatizada "Advancer". Estos equipos de inmersión son robustos, de eficacia probada y altamente configurables, y ocupan muy poco espacio. los "Advancers" son una solución ideal para los procesos de grabado, limpieza y decapado en un solo paso de las superficies de los semiconductores. La familia "Advancer" consta de tres plataformas: Micro, Classic y Gemini. Los modelos "Advancer Micro" y "Advancer Classic" disponen de una cuba de proceso y otra de aclarado con robot lineal lateral para procesos de un solo paso. El "Advancer Gemini" es un banco húmedo de doble proceso y doble robot y una de las plataformas más rentables disponibles. El "Advancer Gemini" puede emplearse para duplicar la capacidad de procesamiento o para realizar pasos de proceso secuenciales con un espacio y un coste totales reducidos. Los sistemas RENA ofrecen un excelente control y supervisión de procesos mediante el software IDX Flexware, con ventajosas funciones y capacidades. Todos los sistemas RENA son de fácil mantenimiento y cumplen con la interfaz SECS/GEM de host de fábrica. Características y ventajas Capacidad de secado a secado Proceso de un solo paso y diseño de aclarado Manejo de uno o dos casetes tamaños de oblea de 50 mm a 200 mm procesamiento de 150 y 200 mm sin cambios Software de control de procesos IDX Flexware Pantalla táctil HMI intuitiva Robot de montaje lateral de fácil mantenimiento Opciones de interfaz SECS/GEM Flexible y actualizable Adaptado a las especificaciones del cliente