Secador de enjuague COMPASS SRD

por pulverizacióncon boquilla

Los secadores RENA COMPASS Spin Rinse Dryers son secadores de obleas de alta calidad que enjuagan cualquier residuo que haya quedado de los pasos anteriores del proceso y, a continuación, secan las obleas. Estas plataformas ofrecen las características más avanzadas que se pueden encontrar en los SRD actuales. La familia COMPASS SRD de RENA está diseñada para reducir los costes operativos al tiempo que proporciona unas especificaciones de limpieza, sequedad y partículas excepcionales. Estas plataformas utilizan enjuague con agua desionizada seguido de secado con N2 tanto para casetes de perfil alto como bajo. El calentamiento sin contacto de COMPASS SRD da como resultado un N2 más limpio. Características y ventajas Bajo coste operativo Ahorro significativo de N2 Bajo rendimiento de partículas colector de pulverización de agua desionizada de 10 boquillas Control superior de vibraciones y estática Control avanzado del proceso con IDX Flexware Punto de ajuste programable para el calentador de N2 y la supervisión de la temperatura Control de resistividad, antiestático y calentador de manta Cassette de perfil alto y bajo