Secador de limpieza Genesis

por pulverizaciónbatchde enjuague

El secador RENA Genesis Marangoni combina el proceso de secado con la limpieza y el aclarado, proporcionando un proceso de un solo paso. Genesis es una tecnología patentada que proporciona una limpieza y una eliminación del agua de las obleas excepcionales. Estos secadores pueden aplicarse tanto como plataformas independientes como integrados en bancos húmedos de inmersión por lotes. Todo el proceso se supervisa y controla mediante el software de control de procesos IDX Flexware exclusivo de RENA. El secador Marangoni de RENA ofrece un rendimiento superior, un mayor rendimiento y una menor presencia de partículas. Características y ventajas Rentable Robusto, eficiente y limpio Manipulación de obleas manual o automatizada Tamaños de oblea de 50 a 200 mm Casetes de teflón Seca superficies hidrófobas e hidrófilas No daña el fotoresistente Bajo consumo de IPA (< 20 ml por ciclo de secado) Rendimiento superior de partículas Duración típica del ciclo: 7-20 minutos Opción de filtración de agua DI integrada Inyección química opcional Recirculación de IPA opcional para un mayor rendimiento de partículas