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Secador de isopropanol VaporDry batchde enjuaguede limpieza
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Características
- Tecnología
- de isopropanol
- Proceso de producción
- batch
- Otras funciones
- de limpieza, de enjuague
Descripción
RENA VaporDryer integra el proceso de secado IPA con la limpieza y el aclarado para proporcionar un proceso de un solo paso. Es una solución ideal para desplazar el agua de características de alta relación de aspecto y a través de vías de silicio (TSV), así como para el secado eficaz de superficies complejas. VaporDry puede integrarse en las plataformas de inmersión por lotes de RENA. Este secador puede utilizarse tanto en aplicaciones FEoL como BEoL. Todo el proceso se supervisa y controla mediante el avanzado software de control de procesos IDX Flexware de RENA.
Características y ventajas
Menor coste en comparación con los secadores Marangoni
reducción del 85% del consumo de IPA en comparación con los secadores de vapor de sumidero en ebullición
Rendimiento robusto, fiable y probado en campo
Excelente rendimiento de partículas (750 µm de profundidad)
Ocupa poco espacio
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Semiconductor
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.