Secador de isopropanol VaporDry

batchde enjuaguede limpieza

RENA VaporDryer integra el proceso de secado IPA con la limpieza y el aclarado para proporcionar un proceso de un solo paso. Es una solución ideal para desplazar el agua de características de alta relación de aspecto y a través de vías de silicio (TSV), así como para el secado eficaz de superficies complejas. VaporDry puede integrarse en las plataformas de inmersión por lotes de RENA. Este secador puede utilizarse tanto en aplicaciones FEoL como BEoL. Todo el proceso se supervisa y controla mediante el avanzado software de control de procesos IDX Flexware de RENA. Características y ventajas Menor coste en comparación con los secadores Marangoni reducción del 85% del consumo de IPA en comparación con los secadores de vapor de sumidero en ebullición Rendimiento robusto, fiable y probado en campo Excelente rendimiento de partículas (750 µm de profundidad) Ocupa poco espacio