El sistema RENA EPA ofrece soluciones precisas y flexibles para los procesos automatizados de galvanoplastia. Su diseño modular permite a los clientes ajustar rápidamente el sistema a estructuras de proceso predefinidas o nuevas. Facilita el revestimiento automatizado con metales puros y aleaciones (Au, Ag, Cu, Sn, Ni, SnAg), así como con diversos metales de revestimiento. Con un excelente flujo de fluido y un estricto control del campo eléctrico, el sistema RENA EPA proporciona un metalizado uniforme a alta velocidad en procesos automatizados.
Eficacia y precisión
El rendimiento altamente escalable y la extraordinaria uniformidad del metalizado son sólo dos de las principales ventajas del sistema RENA EPA. Las opciones de control de precisión benefician a una amplia variedad de aplicaciones de tecnología de semiconductores y microsistemas, como la creación de recubrimientos metálicos funcionales para MEMS, el microconformado y moldeado de piezas ultrapequeñas para microsistemas, la producción de componentes optoelectrónicos o el bumping.
El sistema ofrece a los clientes una gran libertad en cuanto al tamaño y la geometría de las obleas, así como opciones de ampliación con módulos de proceso adicionales para el tratamiento, el grabado y el secado.
Resumen de las ventajas del sistema RENA EPA
adecuado para el revestimiento de metales puros y aleaciones (Au, Ag, Cu, Sn, Ni o SnAg)
adecuado para diversos productos químicos de revestimiento
para obleas de 2", 4", 6", 8" y 12
admite sustratos cuadrados y geometrías de oblea especiales
procesos de capa única y apilada
sistema de ánodo inerte o soluble
amplia gama de espesores de revestimiento
baja exclusión de bordes <= 3 mm
excelente flujo de fluido
metalizado extremadamente uniforme
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