Espectrómetro de masa AZX400

XRFWDXRFpara I+D

AZX400 La técnica de fluorescencia de rayos X por longitud de onda dispersiva (WD) permite el análisis elemental (composición y el espesor de la película) con una resolución de máxima energía. El AZX 400 de Rigaku es un espectrómetro WDXRF secuencial diseñado específicamente para manejar muestras muy grandes y/o pesadas. El espectrómetro AZX 400 acepta muestras de hasta 400 mm de diámetro, 50mm de grosor, y 30kg de masa, que lo hace ideal para el análisis de blancos de pulverización, discos magnéticos o para la metrología de películas de obleas de Si de múltiples capas. El AZX 400 es un sistema ideal de I+D que ofrece la más amplia gama de flexibilidad analítica que cubre el rango de elementos de Be a U con tamaños de punto a 0.5 mm de diámetro para las mediciones espacialmente resueltas (uniformidad). La cámara de video opcional y el sistema de iluminación permite que el punto de medida específico sea visto por las aplicaciones QC o FA. El autocargador de oblea opcional permite el manejo de múltiples obleas desde un FOUP de 300mm o un videocasete abierto de 200mm.