Sistema de metrología para obleas XHEMIS EX-2000

HERRAMIENTA DE METROLOGÍA XRR Y XRF PARA Obleas de hasta 200 mm Espesor, densidad, rugosidad y composición de películas en obleas de manta Esta versátil herramienta de metrología por rayos X utiliza la fluorescencia de rayos X (XRF) y la reflectividad de rayos X (XRR) para la medición no destructiva de alto rendimiento del grosor y la densidad de las obleas de manta, desde películas ultrafinas de una sola capa hasta pilas multicapa para el desarrollo de procesos y el control de calidad de las películas. DISEÑADO PARA LA FABRICACIÓN DE GRANDES VOLÚMENES XHEMIS EX-2000 está diseñado para la fabricación de grandes volúmenes de obleas de hasta 200 mm. La excelente alineación de la platina antes de la medición permite una medición rápida y precisa de una gran variedad de muestras de obleas. El control de la platina, de gran precisión, permite realizar mediciones de mapeo de superficies completas en poco tiempo. HERRAMIENTA DE DISEÑO FÁCIL DE USAR Cuando está equipada con un robot de transferencia, la XHEMIS EX-2000 puede manipular las obleas automáticamente. AutoCal (una función de calibración automática) mantiene las condiciones constantes de la herramienta. El software de fácil uso facilita el manejo de la herramienta y el análisis de los datos. Esta herramienta puede utilizarse para una gran variedad de aplicaciones, desde la investigación hasta la producción para el control de calidad. Amplia gama de materiales y aplicaciones Evaluación simultánea del espesor, la densidad y la rugosidad de la película Mediciones de obleas de alto rendimiento Resultados absolutos de XRR (sin necesidad de estándares de calibración) Mapeo de toda la oblea y mediciones de alta velocidad por XRF Alta resolución y precisión que cubre espesores desde Ångstroms hasta micras Acepta obleas de 200 mm, 150 mm, 125 mm y 100 mm Función de autocalibración disponible