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Máquina de limpieza en seco Optiwetpara obleastratamiento por vía húmedade adherencia
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Características
- Tecnología
- en seco
- Aplicaciones
- para obleas
- Otras características
- tratamiento por vía húmeda, de adherencia
Descripción
Procesado en húmedo de obleas / sustratos / máscaras
Limpieza, Revelado, Decapado, Grabado, diversos procesos químicos incl. Piraña, HF, SC1 y SC2, Megasonic y Alta presión
Versión autónoma y de banco húmedo
Tamaño máx. de oblea:Ø 12" (Ø 300 mm) / Ø 600 mm / Ø 750 mm
Mandriles personalizados
200 recetas programables
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Semiconductor
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