Sistema de microgrupos totalmente automatizado para estaciones de proceso, p. ej.
Decapado
Bobinadora
Revelador
Lift-Off
Planchas calientes, frías y de imprimación
Horneado UV
Tamaño máx. de oblea Ø 6"~ Ø 8" ((Ø 150 ~ Ø 200 mm)
Tamaño máx. del sustrato: 150 mm x 150 mm (6" x 6")
Diseño modular para hasta 6 estaciones de proceso
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