Sistema universal de microfocalización de rayos X en línea
Tubo de rayos X: Detector de rayos X reflectivo: FPD
Sistema de movimiento: XYZθ Precisión de movimiento: ±5(±30 segundos de arco)
Resolución espacial: 3μm (2D) Precisión de medición: 10μm
Parámetros clave:
(1)Resolución: 3μm
(2)Tensión máxima: 110kv
(3)Precisión de medición: 5μm+L/50
Principales áreas de aplicación:
(1)3Campo;
(2)semiconductores;
---