Sistema de manipulación automático SMZ-IV

modulableen líneade oblea

Equipo en línea, que puede integrarse con uno o dos equipos PECVD de interfaz barco-barco y realizar el transporte del barco de grafito y la carga y descarga de obleas automáticamente. Este equipo se puede aplicar en el proceso antes y después del proceso de PECVD, que puede cargar las obleas de la casete al barco de grafito y transportar el barco cumplido al equipo de PECVD o transportar el barco procesado a este equipo y descargar las obleas del barco de grafito al casete automáticamente. - Con diseño modular, que se puede integrar en línea con uno o dos conjuntos de equipos de PECVD. - Con control de PC, operación de la computadora de la tableta, que es fácil y clara para la operación. - Detección de microfisuras en línea, detección de espesor de película, sistema de inspección de color y tratamiento automático de obleas NG (necesita cargos adicionales). - Configuración en línea/fuera de línea. - Compatible con AGV, sistema RFID, función MES opcional.