Purificador de gas con filtro PS3-MT3 Seriesde nitrógeno
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Características
- Tipo
- con filtro
- Otras características
- de nitrógeno
- Caudal de aire
Mín.: 0 l/min
(0 us gal/min)Máx.: 5 l/min
(1,3 us gal/min)
Descripción
La investigación ha mostrado que la purificación del gas asegura el funcionamiento de proceso constante y repetible para la fabricación del dispositivo de semiconductor. El punto de la purificación del uso aísla áreas de proceso críticas de los sistemas de distribución del gas de la casa y las protege contra trastornos y la contaminación cruzada de la pureza del gas.
Los purificadores de MonoTorr proporcionan la purificación esencial para el nitrógeno y los gases raros en el slpm hasta 5 de los flujos.
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