El alto purificador de MonoTorr del flujo proporciona retiro sub-ppb de la impureza en hidrógeno, nitrógeno y gases raros en el slpm hasta 150 de los flujos. Cada purificador viene completamente incluido y se diseña para el montaje en la pared. Las características estándar incluyen un recinto agotado con la bahía separada para la electrónica, puertas separadas para el sistema y la electrónica de la instalación de tubos de gas, y un cuello del extractor con la fan. Un paquete opcional (para las unidades del hidrógeno) incluye un detector de escape del hidrógeno con cierre automático, el aislamiento electrónico, y un sistema de la purgación del nitrógeno con el sensor de flujo.
Los purificadores calentados del comprador proporcionan el retiro más completo de las impurezas para los gases raros, el nitrógeno y el hidrógeno. El comprador del metal forma un vínculo químico irreversible con todas las impurezas del óxido, del carburo y del nitruro. El MonoTorr es la única tecnología del purificador capaz de quitar los hidrocarburos y el nitrógeno de los gases de proceso.
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