Purificadores puros del hidrógeno de Palladium del gas de SAES producir el hidrógeno más puro en el planeta. El diseño patentado del microcanal ofrece la innovación más significativa de la purificación del gas de hidrógeno adentro durante 20 años. El purificador avanzado del hidrógeno ofrece una capacidad de flujo más alta con una durabilidad más barata y mejorada para los procesos de fabricación en grandes cantidades. Purificadores puros del hidrógeno del gas de SAES entregan (99,9999999%) la pureza 9N's con los niveles típicos.
El PS7-PD1 incluye una célula de Palladium en un recinto compacto para una amplia gama de flujos para la purificación del punto-de-uso para las solas herramientas de proceso o el suministro de gas a granel para muchas herramientas de proceso en los fabs grandes del LED y del semiconductor. Purificadores solos de una célula de Palladium el flujo entero del hidrógeno de la entrada. El recinto se adapta para la instalación cerca de las herramientas de proceso o en un cuarto a granel del gas.
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