Máquina de deposición solar LD-42 series

Deposición de capa de óxido túnel, i-Poly y D-poly para células solares TOPCon. - Características de proceso de baja presión y pared caliente, con mejor uniformidad de la película y buena compacidad. - Proceso LPCVD, sustratos densamente cargados tienen poco efecto en la tasa de recubrimiento, con gran capacidad de carga en un solo tubo. - Más zonas de temperatura para garantizar la uniformidad entre obleas de forma fiable. - Entrada de aire segmentada ajustable independientemente para compensar el efecto de agotamiento del flujo de aire.