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Máquina de deposición solar LD-42 series
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Características
- Aplicaciones
- solar
Descripción
Deposición de capa de óxido túnel, i-Poly y D-poly para células solares TOPCon.
- Características de proceso de baja presión y pared caliente, con mejor uniformidad de la película y buena compacidad.
- Proceso LPCVD, sustratos densamente cargados tienen poco efecto en la tasa de recubrimiento, con gran capacidad de carga en un solo tubo.
- Más zonas de temperatura para garantizar la uniformidad entre obleas de forma fiable.
- Entrada de aire segmentada ajustable independientemente para compensar el efecto de agotamiento del flujo de aire.
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Horizontal Furnaces Series
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.