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Máquina de limpieza de agua SC-CSZJ9600E-20F
en secode procesopara obleas

Máquina de limpieza de agua - SC-CSZJ9600E-20F - S.C New Energy Technology Corporation - en seco / de proceso / para obleas
Máquina de limpieza de agua - SC-CSZJ9600E-20F - S.C New Energy Technology Corporation - en seco / de proceso / para obleas
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Características

Tecnología
de agua, en seco
Aplicaciones
de proceso, para obleas

Descripción

Se utiliza para la extracción envolvente y la limpieza de las obleas de silicio difusas. Flujo del proceso Wrap Around Removal→Post-clean→Acid Clean→Post-clean→Acid Clean→Hot Water Drying→Drying (para referencia) - Rendimiento: 400pcs/lote, 9600pcs/h(210mm wafer),480pcs/lote, 12000pcs/h (182mm wafer). - Varias tecnologías de aditivos disponibles. - Grosor de la oblea de hasta 120μm. - Con zona de limpieza en seco y sistema de autolimpieza. - Cambio rápido de baño en línea. - Disponible con MES, sistema RFID, prueba de peso en línea opcional.

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Traducción automática  (ver el original en inglés)

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