Equipo de recubrimiento físico en línea para el recubrimiento de óxido conductor transparente (TCO) sobre oblea, placa de vidrio o sustrato flexible.
- Pulverización catódica por magnetrón (PVD).
- Deposición de plasma reactivo (RPD).
- Operación de cátodo múltiple para capa semilla y TCO en tándem de índice de refracción múltiple.
- Sin bombardeo sobre el sustrato manteniendo una alta movilidad.
---