Máquina de grabado en obleas química

para la industria de la microelectrónica

Aislamiento de The Edge + cosechadoras del sistema en línea de la aguafuerte de PSG varios pasos de proceso en un sistema con diseño modular. Por una parte la capa del emisor en el rearside de la oblea generada durante el proceso de difusión se aísla unilateral de la parte delantera de la oblea para prevenir el malfuncionamiento de la célula solar. Por otra parte el vidrio fosforado del silicato (PSG) se quita de la superficie de la oblea. Durante el aislamiento del borde que el emisor es protegido por la máscara del agua se convirtió y patentó por SCHMID. Los rodillos de transporte perfilados especiales se aseguran de que la química entra en el contacto exclusivamente con el rearside, y por lo tanto poca química se consume. Para la aguafuerte del mantenimiento especial del vidrio del silicato del fósforo los ejes se utilizan en vez de los ejes cabidos con los anillos o. Éstos no dejan impresiones en las obleas. Además, el transportador modificado permite la limpieza fácil de los ejes. Por lo tanto, la contaminación orgánica de las obleas por el sistema de transporte se excluye. El enjuague entre los pasos de proceso individuales asegura la fricción-hacia fuera mínima. La tecnología múltiple de la cascada de SCHMID reduce el consumo de DI water. Los gracias al diseño modular del sistema en línea, de la producción y de los pasos de proceso se pueden adaptar a las necesidades de los clientes. Además, los procesos de limpieza especiales están disponibles para las células de PERC.