Sistema de carga y descarga para descargador

de oblea

Las obleas/células se transfieren entre los pasos del proceso individual, ya sea manualmente o a través del sistema Montrac en Carriers especialmente desarrollados por SCHMID. Los Carriers llenos se colocan en el cargador en una fila y se mueven a la posición de transferencia. Aquí las obleas/células se sacan de las cajas de transporte mediante un sistema de índice y se transportan posteriormente al equipo de proceso. En sentido inverso, el descargador recibe las obleas/cubetas y asegura una carga constante de los portadores SCHMID. Para ello, las obleas/células se sincronizan en filas en cintas transportadoras de velocidad controlada y se almacenan sucesivamente en las cajas de transporte vacías mediante un sistema de índice. Máximo rendimiento en un espacio reducido Transporte de obleas/células seguro y sin vibraciones Adecuada para diferentes tamaños de oblea/célula Baja tasa de rotura < 0,1% Adecuado para obleas/células muy finas a partir de 120 µm