El diseño modular compuesto por el cargador de varias pistas, la metrología y el desviador de células permite una adaptación óptima de la línea de células de carga al rendimiento, al número de pistas y a las necesidades de espacio. Para el siguiente proceso de la célula, las obleas se transfieren de una o dos pistas de alimentación a diez pistas o de una pista a cinco pistas.
Para adaptarse a las mayores exigencias de control de calidad, se pueden añadir opciones de inspección adicionales a los sistemas (reconocimiento de agujeros y grietas, medición de la superficie, medición de la vida útil y de la resistencia).
Control de calidad antes del inicio del proceso
Máximo rendimiento de hasta 7600 obleas por hora
Adecuado para sistemas de proceso de hasta diez pistas
Eliminación de roturas antes de los sistemas de metrología
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