Sistema de posicionamiento multieje

automáticopara la industria de los semiconductoresde alta precisión

Soluciones para semiconductores Independientemente de si sus solicitudes proceden de la atención directa o del soporte, podemos proponer las soluciones personalizadas para sus exigentes necesidades. Nuestro equipo afronta perfectamente las demandas muy específicas realizadas con un tiempo extremadamente breve de desarrollo, así como los incrementos y las reducciones de producción, colaborando con los nombres más importantes en el mercado de SEMI desde hace más de 25 años. El mundo de la estabilidad de nanómetros y del desplazamiento y fijación de sistemas de movimiento es nuestro mundo. Entendemos como nadie sus necesidades y las transformamos en soluciones de movimiento totalmente integradas. Más información sobre nuestras "soluciones de semiconductores" en POI* - Configuración: XYTZ o + Z - Recorrido: hasta 600 x 750 mm (oblea de 450 mm) - Precisión: ≤ 1 µm (sobre TIR, asignado) - Repetibilidad: ≤ 0,1 µm - Estabilidad: ≤ 2 nm (en 1s ptp) - Movimiento y fijación: < 100 ms para 25 mm - Velocidad Cst: < 0,01 % a <100 mm/s - Rectitud: < 5 µm sobre TIR - Planeidad: < 5 µm sobre TIR