Vidrio de borosilicato ultrafino
SCHOTT MEMpax® es un vidrio de borosilicato con una superficie pulida al fuego. Tiene características químicas y físicas similares al conocido producto
SCHOTT Borofloat® 33.
Al mismo tiempo, MEMpax® está disponible en espesores mucho menores y ofrece una oblea fina que no necesita ser esmerilada y pulida gracias a su excelente calidad superficial. SCHOTT MEMpax® puede utilizarse en cualquier lugar donde se necesiten vidrios de borosilicato extremadamente finos.
El coeficiente de dilatación térmica lineal de MEMpax® se corresponde con el del silicio, por lo que este vidrio es perfectamente adecuado para su uso en la unión anódica. Gracias a su baja autofluorescencia, su excelente calidad superficial, su planicidad y su homogeneidad, las posibilidades de aplicación de MEMpax® en los sistemas microelectromecánicos (MEMS) y en la biotecnología son numerosas.
Ventajas
Sistemas microelectromecánicos (MEMS)
- El coeficiente de expansión térmica lineal se corresponde con el del silicio
- Adecuado para la unión anódica
- Obleas finas de vidrio de borosilicato sin necesidad de pulido
- Alta resistencia térmica y química
Biotecnología
- Alta transmisión
- Disponible en varios espesores
- Baja autofluorescencia
- Excelente calidad de superficie
Datos técnicos
Dimensiones : 2" a 12", redondas o rectangulares
Rugosidad superficial Ra : < 0,5 nm
Espesores* : 0.1 mm a 0,5 mm
Espesores estándar* : 0.2 mm, 0,3 mm, 0,4 mm, 0,5 mm
Transmitancia luminosa ΤvD65 (grosor = 0,5 mm) : 92,9%
Coeficiente de dilatación térmica lineal media
α (20 °C; 300 °C) (medición estática) : 3,3 - 10-6 K-1
Temperatura de transformación Tg : 532 °C
Constante dieléctrica εr a 1 MHz : 4,8
Índice de refracción nD (según el dibujo) : 1,4714
Densidad ρ (recocido a 40 °C/h) : 2,22 g/cm3
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