Evaporador por bombardeo iónico EFM 6

de proceso

El área de evaporación > 50 milímetros de evaporación capacitiy 10 cm3 del crisol hasta de los alambres, de las barras o de los crisoles integró refrescarse de agua refrescado del obturador para la subida mínima de la presión un producto del FOCO que el evaporador de EFM 6 prolonga la gama de producto de EFM sobre una escala más grande. Con un reborde bajo de los CF del nanovatio 63 (4.5 " OD) y una capacidad del crisol de hasta 10 cm3, los asimientos de EFM 6 cerca de diez veces m?as material como el EFM 3. Ya en una distancia de trabajo corta el área de evaporación es más grande de 50 milímetros de diámetro, que hace el EFM 6 satisfecho idealmente para los substratos entre 2 " y 4 ". Ofreciendo un flujo integrado supervise y el obturador, el EFM 6 es una herramienta única en la gama de tamaño mediano del evaporador, no sólo conveniente para el crecimiento de secundario-monolayers pero también para los cojines en enlace gruesos etc. Para los ciclos extendidos del servicio, el EFM 6 se equipa de un filamento doble. La alta energía requerida de calentar los crisoles grandes es proveída por el EVC 1200.