Espectrómetro fotoelectrónico NanoSAM Lab

de procesoMCPAuger

Columna de Electrones UHV Gemini: máxima resolución espacial el menor tamaño de spot de haz electrónico rendimiento único de bajo consumo de energía sEM eficiente con SED en la lente Analizador de electrones NanoSAM resolución energética variable excelente sensibilidad, detección multicanal Manejo de muestras: tamaño de muestra flexible temperatura variable de la muestra (50-500K) inclinación de la muestra 60 NanoSAM Lab es la herramienta definitiva para el análisis de estructuras pequeñas. Impulsado por el rendimiento único de la columna electrónica UHV Gemini, garantiza una resolución inigualable por debajo de los 5 nm en la microscopía de barrena de barrido (SAM) y mejor que los 3 nm en el microscopio de barrena de barrido (SEM). A diferencia de otras herramientas Auger, la resolución extremadamente buena no sólo está disponible con una energía de haz estándar de 20 keV, sino que incluso a 5 keV la resolución SAM permanece por debajo de los 10 nm. Esto permite la operación en un rango de parámetros donde las secciones transversales del sinfín son altas, y bien documentadas para el análisis cuantitativo.