Sensor de caudal másico SFM5330

de aireOEMde alta precisión

Sensor de caudal digital, rápido, configurable y de alta precisión para OEM Especificación Caudal másico Caudal a escala real - 1, 2 y 5 - slm - Caudal a escala completa - 50, 100, 200 y 500 - sccm - Precisión - 0,2%FS o 2% SP - - Presión máxima de funcionamiento - 10 - bar - Calibración - Aire, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 y C4F8 - caudal - Puertos de conexión de fluidos - Downmount - - Genérico Tensión de alimentación - 14 - 26,4 - V - Corriente media de alimentación - 50000 - uA - Corriente máx. de alimentación - 320000 - uA - Interfaces - RS485 - - Tamaño (LxAnxAl) - 34 x 25 x 62,2 - mm³