Diseñado para aplicaciones de control de calidad en gases a granel UHP, el analizador compacto DF-760E es una solución única para la medición dual de trazas y ultratrazas de humedad (H2O) y oxígeno (O2).
Mediciones de trazas/ultra-trazas TDL de alta estabilidad
Una solución sin compromisos
Mantenimiento sencillo y costes corrientes reducidos
El DF-760E es un analizador diseñado para la monitorización de gases a granel UHP utilizados en la fabricación de placas de circuitos integrados que ofrece una solución integrada compacta para la monitorización simultánea de trazas de humedad y trazas de oxígeno.
Combinando las propiedades líderes del sector del sensor coulométrico no agotable de Servomex y la robusta tecnología de láser de diodo sintonizable (TDL) en una única unidad compacta, el DF-760E mide niveles ultrabajos de contaminantes de H2O y O2 en mezclas de gases de fondo de nitrógeno (N2), hidrógeno (H2), helio (He), O2 y argón (Ar) (H2O sólo en O2).
Con unos límites de detección inferiores (LDL) excepcionalmente bajos, líderes en el sector, de 100 ppt (H2O) y 45 ppt (O2), el DF-760E ofrece una rápida velocidad de respuesta, una estabilidad insuperable e inmunidad frente a daños por trazas de ácidos, lo que lo hace ideal para el control de calidad y la detección de fugas en aplicaciones FAB de semiconductores.
Este incomparable rendimiento de medición está respaldado por un diseño de bajo mantenimiento, gracias a las resistentes tecnologías de detección de deriva cero que no requieren calibración continua.
Cuando se trabaja en la fabricación de placas de circuitos integrados, el control de calidad del gas UHP de grado electrónico es crucial.
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