Stepper NPS300

Avanzado en I+D y orientado a la línea piloto, el NPS300 es un Stepper de alta precisión y fuerza diseñado para la nanoimpresión. Optimizada para la replicación de nanoestructuras con una precisión de ± 0,5 μm, la NPS300 es la primera herramienta capaz de combinar la litografía en caliente alineada y la UV-NIL en una misma plataforma. La NPS300 es capaz de imprimir geometrías por debajo de los 20 nm con una precisión de superposición de 250 nm. Su arquitectura flexible ofrece una excelente reproducibilidad del proceso y una capacidad única para estampar grandes áreas, en un modo secuencial Step & Repeat en obleas de hasta 300 mm. Permite la fabricación a bajo coste de sellos de gran tamaño con patrones repetidos. - Precisión de ± 0,5 μm - Modo Step & Repeat en obleas de hasta 300 mm - Recogida automática del sello - Tecnología de cojinetes neumáticos y estructura de granito que garantizan estabilidad y fiabilidad a largo plazo - Control del paralelismo para garantizar una precisión muy alta incluso bajo fuerzas elevadas - Calibración manual/totalmente automática - Ciclo automático e independiente del operario - Alto rendimiento gracias a un diseño rígido - Registro del proceso para el desarrollo, archivos de registro para realizar un seguimiento de la producción