Los acelerómetros MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) son acelerómetros fabricados con tecnología MEMS. Gracias al uso de la tecnología de sistemas microelectromecánicos, su tamaño se reduce enormemente, y un acelerómetro MEMS es sólo una fracción del tamaño de una uña. Los acelerómetros MEMS tienen las ventajas de su pequeño tamaño, peso ligero y bajo consumo de energía.
El ER-MA-6 es un sensor inercial que puede medir la aceleración lineal causada por la gravedad. Se trata de un acelerómetro MEMS de gran alcance, altísima precisión, alta fiabilidad y bajo consumo.
Características
Gran alcance, precisión ultraelevada, alta fiabilidad y bajo consumo de energía
No linealidad de clase II: <10µg/g2
Estabilidad de sesgo (1s suave) (1σ): <15ug
Estabilidad de sesgo (10s suave): <5ug
Inestabilidad del sesgo (curva Allan): <2ug
Aplicaciones
Medición inercial: guiado inercial, medición de sobrecarga, navegación integrada
Medición de inclinación: actitud de antenas, medición de plataformas, pruebas de ángulo de inclinación
Medición de vibraciones: equipos mecánicos, puentes y presas, pruebas de seguridad
Especificaciones
Encapsulado - CLCC48 -
Eje - Y -
Alcance - 60 - g
Factor Escala No linealidad - 150 - Hz
Retardo de grupo - <3 - ms
No linealidad de clase II - <10 - µg/g2
Ruido - <30 - µg/√Hz @1hz
Valor umbral - <30 - µg
Sesgo de fábrica (temperatura ambiente) - <±1 - mg (valor de calibración a temperatura ambiente)
Deriva de temperatura de polarización de fábrica - <±0,5 - mg
Histéresis de temperatura de polarización de fábrica - <0,2 - mg
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