APLICACIÓN TÍPICA
Microscopía electrónica de barrido de transmisión,Microscopía electrónica de barrido,Análisis de semiconductores,Fresado y reparación,Grabado por haz de iones,Litografía focalizada por haz de iones
Las fuentes de alimentación de alto voltaje de la serie HSEM de Wisman son fuentes de alimentación de alto voltaje con múltiples salidas dedicadas a la focalización de haces de iones. Las aplicaciones típicas incluyen microscopios electrónicos de transmisión y barrido; análisis de semiconductores, fresado y reparación de cabezales de accionamiento óptico, iones; grabado de haces y litografía enfocada de haces de iones. El método de diseño modular permite configurar y ensamblar fácilmente los componentes individuales en un gran chasis en un bastidor común. Los circuitos de interfaz, lógica y control son de tecnología de montaje superficial para minimizar el coste y el tamaño. Integra alimentación de aceleración, alimentación de filamento, absorción de potencia polar, inhibición de potencia polar y alimentación de lente. Ondulación de salida ultrabaja, excelente velocidad de ajuste, estabilidad, deriva de temperatura y precisión. Suspensión de alto voltaje patentada y tecnología de control digital. Los módulos de alta precisión de la serie HSEM tienen un precio competitivo y son ideales para aplicaciones OEM.
Fuente de alimentación del acelerador
Corriente de salida: 300μA
Ondulación: 120 mV P-P, de 0,1 Hz a 1MHZ
Regulación de línea: cambio de entrada + / -10% para 100mV
Regulación de carga : ± 0,01%, tensión máxima, cambio a plena carga
Estabilidad: 1,5V/10 horas después de 2 horas de calentamiento
Coeficiente de temperatura: 25 PPM / °C
Alimentación del filamento
Ondulación: 10mA P-P, de 0,1 Hz a 1MHZ
Regulación de línea: + / -10% cambio a 5mA
Regulación de carga: ± 0,1%, tensión máxima, cambio a plena carga
Estabilidad: 5mA/10 minutos después de 2 horas de calentamiento
Coeficiente de temperatura: 200 PPM / °C
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