Amplificador de tensión ECA

de conmutaciónde alta tensiónbipolar

La serie ECA son amplificadores de alta tensión para mandriles electrostáticos (E-Chuck, ESC). Además de la conmutación de polaridad y la puesta a tierra forzada, esta serie también ofrece un sistema de supervisión de obleas para las necesidades de inspección de obleas. Además, con una amplia gama de tensiones, la serie es compatible con los mandriles electrostáticos Coulomb y Johnsen-Rahbek. Aplicación típica: Manipulación de materiales con accionamiento electrostático Procesamiento de obleas semiconductoras Transferencia no mecánica de láminas planas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica Características y ventajas: Detección fiable del estado de sujeción/liberación mediante sensor de obleas Rápida respuesta del diseño de la arquitectura del amplificador (diseño "sin inversión de polaridad del relé" para una alta fiabilidad y larga vida útil) "Control independiente de doble canal (opción)" y "ajuste de tensión de toma central (opción)" para diversas operaciones de sujeción/liberación Equipado con interfaz digital LAN, USB, RS-232C Filtro RF de paso bajo incorporado (13,56 MHz) TAC opcional Toma de polarización central 0 a ±[tensión de tasa máxima - punto de ajuste de tensión] ET opcional Interfaz Ethernet CAT [próximamente] DS opcional Control independiente de doble canal Opcional AC Opcional L7 Cable de alta tensión de salida 7m x 3 (2 cuando se selecciona CT o DS)