Aplicación:
Manipulación electrostática de materiales,Procesamiento de obleas semiconductoras,Transferencia no mecánica de placas planas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica
La serie EC de Wisman de fuentes de alimentación de ventosas electrostáticas accionadas por software ofrece una serie de características para satisfacer una amplia gama de aplicaciones exigentes. El equipo utiliza la tecnología de amplificación de Wisman, que ha demostrado aumentar la eficacia y el rendimiento hasta tres veces más que otras fuentes de alimentación. Reduce los errores de gas en la cara posterior, mejora el rendimiento y elimina los problemas de pegado/explosión de obleas; Controla parámetros como la sobrecorriente, la presencia de obleas y los umbrales de sujeción de obleas, la tensión de sujeción, la tensión de offset y los controles de amplitud/desplazamiento internos o externos; La versatilidad del control de amplitud/desplazamiento y salida durante el ajuste; Controla la salida mediante E/S del panel posterior, comandos de ordenador serie o controles del panel frontal; Configura secuencias y formas de onda personalizadas de sujeción y retirada de obleas. El rendimiento versátil y fiable del EC de Wisman permite su uso en múltiples herramientas y procesos únicos sin añadir nuevos costes a cada herramienta o proceso único de la instalación.
Características del producto:
Interfaz de control del panel frontal bloqueable;
Cada unidad se suministra con un certificado de calibración trazable;
Compatible con las tecnologías Coulombic y Johnsen-Rahbek ESC;
Esta sección describe cómo cargar el archivo de configuración de un mandril electrostático en el dispositivo y almacenarlo en él mediante una interfaz de software fácil de usar;
La detección de obleas incluye el estado de oblea libre, oblea presente o oblea sujeta;
Características:
Entrada: DC24V, 2A;
Salida:
Fase de salida
Indicación de tensión:
Relación: 1V/ 200 V
---