Áreas de aplicación:
Manipulación de materiales con accionamiento electrostático,Procesamiento de obleas semiconductoras,Transferencia no mecánica de láminas planas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica.
La serie ECD de Wisman de fuentes de alimentación de mandriles electrostáticos accionadas por software ofrece una gama de características para satisfacer una amplia variedad de aplicaciones exigentes. El equipo incorpora la tecnología de amplificación de Wisman, que ha demostrado aumentar la eficacia y el rendimiento hasta tres veces más que otras fuentes de alimentación. Reduzca los errores de gas en la cara posterior, aumente el rendimiento y elimine los problemas de adherencia/extracción de obleas; controle parámetros como la sobrecorriente, la presencia de obleas y los umbrales de sujeción de obleas, la tensión de sujeción, la tensión de offset y el control de amplitud/desplazamiento interno o externo; versatilidad en el control de amplitud/desplazamiento y salida durante el ajuste; controle la salida mediante E/S del panel posterior, comandos informáticos en serie o controles del panel frontal; configure secuencias y formas de onda de sujeción y desconexión personalizadas. El rendimiento versátil y fiable del ECD de Wisman permite su uso en una amplia gama de herramientas y procesos exclusivos sin añadir nuevos costes para cada herramienta o proceso exclusivo de la instalación.
Características:
Interfaz de control del panel frontal bloqueable.
Cada unidad se suministra con un certificado de calibración trazable.
Compatible con las tecnologías Coulombic y Johnsen-Rahbek ESC.
Los perfiles del mandril electrostático se cargan y almacenan en el dispositivo y se guardan internamente a través de una interfaz de software fácil de usar.
Detección de obleas, incluida la ausencia de obleas, la presencia de obleas o el estado de sujeción de las obleas.
Descripción de características:
Indicación de tensión:
Proporcional: 1V/ 300 V
CC bifásica: precisión mejor que el 0,5% del fondo de escala
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