La serie ECB son amplificadores de alta tensión para ventosas electrostáticas (E-Chuck, ESC). Además de la conmutación de polaridad y la puesta a tierra forzada, la familia también ofrece un sistema de supervisión de obleas para satisfacer las necesidades de inspección de obleas. Además, con un amplio rango de tensión, la serie admite ventosas electrostáticas Coulomb y Johnsen-Rahbek.
Aplicación:
Manipulación de materiales con accionamiento electrostático
Procesamiento de obleas semiconductoras
Transferencia no mecánica de placas u otros materiales procesados sensibles a la manipulación mecánica
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