Máquina de deposición por pulverización catódica en línea

Palabras clave: alambre de metal, tiras de metal, fibras de basalto retorcidas, fibras de vidrio retorcidas, fibras de carbono retorcidas, diversas fibras químicas retorcidas, fibras ópticas, línea de revestimiento de tratamiento de superficie, línea de revestimiento funcional, línea de revestimiento funcional óptico, equipo de deposición al vacío de alambre y tira continuos, línea de deposición de película fina nanométrica Películas de revestimiento: sin límite Películas de deposición: 1.1 Metales conductores: Al, Cr, Cu, Ti, Zr, Ag, Au, Ni, etc. 1.2 Películas a base de metales no conductores: tantalio (Ta), TaN, Ta2O5, silicio (SiOx), indio (In), niobio (Nb), TiNbN, etc. La línea de recubrimiento continuo completo aire-aire es un proceso de recubrimiento continuo completo que incluye un pretratamiento de limpieza en el entorno atmosférico, y luego los sustratos (tiras o cables) ingresan a la cámara de vacío para depositar películas de metal, para luego regresar al entorno atmosférico nuevamente a través de cámaras de almacenamiento intermedio. Los módulos estructurales clave de la línea de recubrimiento continuo aire-aire son: A: Módulo de pretratamiento de limpieza de sustratos (tiras o cables) B: Módulo de enfriamiento C: Módulo de recocido D: Cámara de deposición de películas E: Dispositivos de bucle y cámara de almacenamiento intermedio al vacío.