Medidor de espesores estacionario SK-FTM-Map series

de filmde reflectancia espectralcon calibración automática

La unidad de mapeo de obleas es capaz de medir automáticamente el espesor de película en toda la superficie de obleas de hasta 300 mm. La función de alineación automática, la función de autocalibración y el mandril para obleas de alta planitud permiten una medición del espesor de película altamente fiable. Esta unidad se utiliza en combinación con el monitor compacto de espesor de película. Puede instalarse en el puerto de carga del equipo de fabricación de semiconductores para controlar el espesor de la película en el equipo de fabricación manteniendo la limpieza. 1 Posibilidad de medición automática del espesor de película de obleas de hasta 300 mm 2 Función de alineación automática 3 Función de calibración automática 4 Fiabilidad de medición mejorada en la superficie de la oblea mediante la adopción de un mandril para obleas con alta planitud 5 Soporta la automatización 6 Instalación de puerto de carga