Medidor de espesores estacionario SKM-iFTM series

de filmde reflectancia espectral

El monitor de espesor de película por imágenes es una herramienta de metrología que permite visualizar la distribución del espesor de una película multicapa transparente. Puede visualizar la distribución del grosor de la película con una resolución de 0,1 nm mediante reflectometría espectroscópica. Visualización de la uniformidad del grosor de la película Mide el grosor/calidad de la película en el campo de visión del microscopio, Muestra la distribución en 3-D Resolución del espesor de la película : <0,1 nm Buena resolución de espesor equivalente a las herramientas de espectrometría. La longitud de onda puede seleccionarse de 450nm a 750nm con una precisión de 1nm. Alta velocidad / Medición multicapa de hasta 9 capas Procesamiento paralelo por la reflectometría espectroscópica Aplicaciones avanzadas ① Película de varios cientos de repeticiones como los filtros de interferencia de paso de banda y película multicapa compuesta como la estructura Trench ② Estimación de la densidad de patrones submicrónicos mediante la aproximación del medio efectivo (EMA) ③ Evaluación de la cristalinidad de zonas locales, como el recocido por láser