Los sensores de flujo másico de la serie FS1100 se fabrican con la calorimetría MEMS (sistemas microelectromecánicos) patentada de Siargo con tecnologías de detección de difusividad (Thermal-D ®) que
mide la calorimetría y la difusividad del medio de flujo. Esta tecnología, comparada con la detección calorimétrica convencional, ofrece una linealidad mucho mejor en todo el rango dinámico, elimina las sensibilidades a los gases que tienen difusividades térmicas similares y aumenta la precisión de la medición cuando se utiliza con un factor de conversión de gas. También genera simultáneamente los datos de temperatura instantánea del medio de flujo y mejora el rendimiento de temperatura del método de detección térmica.
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