Máquina de deposición por pulverización catódica con magnetrón SAF25/50

Herramientas multifuncionales de I+D SAF Aplicación La herramienta multifuncional de I+D SAF25/50 está pensada para trabajos de investigación y desarrollo, así como para estudios de viabilidad y trabajos académicos más generales en el campo de las tecnologías de capa fina. Ingeniería y tecnología La herramienta es un sistema multifuncional, ampliable, modular y flexible. La herramienta consta de una cámara de entrada/salida con pistola de iones, una cámara central de transferencia de sustrato con brazo telescópico de transporte radial y hasta 7 cámaras de deposición. El sustrato se coloca horizontalmente en un soporte. Las zonas de deposición están configuradas para la rotación o el desplazamiento del sustrato durante la deposición ascendente. La multifuncionalidad y flexibilidad de la herramienta se basa en las siguientes características clave: - Cada cámara puede funcionar de forma independiente gracias a medios de bombeo, controles y conexiones de servicios públicos individuales. - Las cámaras de deposición y las fuentes de deposición son intercambiables. - La cámara de transferencia central evita la contaminación cruzada del proceso y garantiza la transferencia de sustratos sin ventilación de las cámaras. - Pueden integrarse varios tipos de fuentes de deposición, como celdas térmicas de sublimación, botes resistivos, crisoles y magnetrones de pulverización catódica. - Los magnetrones de pulverización catódica dobles, simples y dobles pueden alimentarse mediante fuentes de alimentación de CC, CC pulsada, MF y RF. - Se ofrece refrigeración y calentamiento del sustrato por contacto y sin contacto. - Puede añadirse una guantera para la carga de sustratos en atmósfera de gas inerte y un almacén de sustratos. - Un número previamente acordado de bridas ciegas instaladas en las cámaras permite acoplar instrumentación y accesorios tecnológicos personalizados.