Máquina de deposición por pulverización catódica vertical en línea 2SV2215MR

para espejo

El sistema de sputtering vertical en línea 2SV2215MR es un sistema modular flexible destinado a la deposición de pilas multicapa de una o dos caras sobre vidrio plano. El sistema en línea se utiliza para la producción de vidrio arquitectónico, fotovoltaico, de enmarcado artístico y hortícola. Ingeniería y tecnología El sistema está diseñado como una estructura de un solo extremo con cámaras de cierre, transferencia y deposición. Las estaciones robotizadas de carga y descarga de vidrio, así como el almacén de intercambio de soportes, están dispuestos en el lado de entrada/salida del sistema. La cámara para el movimiento transversal de los casetes sirve para la transferencia del vidrio desde la vía de flujo directo a la vía de flujo posterior para el recubrimiento de la segunda cara del vidrio. Para sujetar y transferir el vidrio se utilizan soportes a medida, el vidrio se coloca verticalmente sin inclinación. El posicionamiento vertical del vidrio y los magnetrones proporciona una deposición libre de partículas. Para el pretratamiento de las dos caras del vidrio se utilizan fuentes lineales de haces de iones (4 unidades por cada cara del vidrio). Cada cámara de deposición está dividida en dos compartimentos aislados similares para el desplazamiento directo y hacia atrás de los casetes para el recubrimiento sucesivo de ambas caras del vidrio. Los compartimentos de pulverización catódica están equipados con magnetrones dobles giratorios de alta velocidad alimentados con fuentes de alimentación MF (13 magnetrones dobles por cada cara de vidrio). Cada compartimento de deposición está aislado por zonas de separación de gases bombeados. Los canales PEM independientes y los colectores de alimentación de gas multiseccionales para cada magnetrón dual, así como la medición in situ de los parámetros ópticos de cada capa depositada, proporcionan un control óptimo del proceso y la uniformidad de recubrimiento requerida.