Sistema vibrómetro para microestructuras y MEMS
- medición de vibraciones de alta precisión y sin contacto en microobjetos
- fácil ajuste y manejo
- amplias opciones de disparo
- Mesa X-Y 50 mm x 50 mm, otras opciones bajo pedido
- Objetivo del microscopio 10x, 20x, 50x
- Diámetro del punto 2 µm - 10 µm, (dependiendo del objetivo)
- Posibilidad de uso OEM de la unidad de vibrómetro
- interfaces abiertas para software OEM en Windows y Linux
- Software FFT para análisis espectral
El Nano Vibration Analyzer NA es una combinación de un vibrómetro acoplado a fibra de la serie LSV 120 NG con un microscopio de ingeniería. El sistema es idóneo para medir el comportamiento dinámico y la deflexión estática de microestructuras, MEMS y voladizos. Dependiendo del objetivo utilizado, puede alcanzarse un tamaño de punto de medición inferior a 2 µm.
El objeto medido puede posicionarse y escanearse en un amplio rango utilizando una platina X-Y y puede observarse a través de una cámara. El objetivo del microscopio es intercambiable y define tanto el rango visible como el diámetro del punto láser. La resolución de desplazamiento alcanzable del vibrómetro interferométrico láser se sitúa en el rango de los picómetros, y pueden analizarse frecuencias de vibración de hasta 5 MHz.
Se ofrece un software especialmente desarrollado para la adquisición y visualización de los datos de medición. Además del análisis de frecuencias de la vibración y el registro de mediciones activadas, este software permite controlar la mesa X-Y y un generador de frecuencias externo. Las secuencias de medición más extensas pueden automatizarse mediante scripts.
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