Sistema de nanoposicionamiento 3 ejes NMM-1

láserópticopara la industria

Posicionamiento, manipulación, procesamiento y medición de objetos y estructuras con precisión nanométrica - la máquina de nanoposicionamiento y nanometrología más precisa del mundo - rango de medición y posicionamiento 25 x 25 x 5 mm - resolución de 0,1 nm - sistema de medición y posicionamiento 3D de máxima precisión - sistemas de sondeo, por ejemplo, sensores de enfoque láser, microscopios de fuerza atómica, sensores de luz blanca, microescáneres 3D - la arquitectura abierta del dispositivo permite la aplicación de sensores personalizados - el NMM-1 se controla mediante software para PC. Se dispone de API de usuario. La máquina de nanoposicionamiento y nanometría para la medición de coordenadas tridimensionales funciona en un rango de medición de 25 mm x 25 mm x 5 mm con una resolución de 0,1 nm. Una disposición especial de los sensores garantiza una medición sin aberraciones en los tres ejes de coordenadas. Los ejes de medición de tres interferómetros en miniatura se cruzan prácticamente en el punto de contacto entre el sensor de palpación y el objeto medido. El objeto medido se encuentra directamente sobre una esquina móvil del espejo. La posición de la esquina del espejo es detectada por los tres interferómetros en miniatura fijos. La esquina del espejo se posiciona con un sistema de accionamiento de tres ejes. Se utilizan dos sensores angulares para medir y compensar las desviaciones angulares durante el posicionamiento. La luz de un láser estabilizado se transmite desde la unidad electrónica a los cabezales de los interferómetros a través de fibras ópticas. El resultado es un diseño compacto y estable a la temperatura de la máquina de nanoposicionamiento y nanometría.