Sistema de posicionamiento XYZ

lásercompacto

El sistema de posicionamiento XYZ sostiene el cabezal del sensor y escanea el rayo láser sobre la muestra. El sistema de posicionamiento XYZ se utiliza para posicionar el haz de la sonda del interferómetro y escanearlo sobre la región de interés. El sistema de posicionamiento está construido en torno a tres posicionadores SmarAct de bucle cerrado encerrados en una carcasa protectora compacta. Cada posicionador tiene un rango de exploración máximo de 20 mm y una repetibilidad de 50 nm. El cabezal del sensor está montado en el posicionador más bajo. El sistema de posicionamiento XYZ está montado en un poste de 25 mm de diámetro, de modo que su altura se ajusta fácilmente para acomodar muestras de diferentes dimensiones. Incluso es posible retirar el sistema de posicionamiento de su poste de montaje para instalarlo en una configuración personalizada o para combinarlo con otro instrumento.