El cabezal del sensor con haz enfocado para muestras microscópicas contiene el interferómetro real y está conectado a través de una fibra óptica con el controlador.
El cabezal sensor F03 contiene un interferómetro de Michelson y puede combinarse con varios objetivos para enfocar el haz láser de medición en un punto de tamaño micrométrico. Esto permite medir desplazamientos periódicos de objetivos microscópicos con una resolución picométrica. En combinación con el vibrómetro PICOSCALE, el cabezal sensor también puede utilizarse para la microscopía confocal de alta resolución.
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