Sonda óptica SP series

de laboratoriode caracterización eléctrica

Nuestro sistema estándar de nanoprobadores con 4 u 8 manipuladores de bucle cerrado. El SMARPROBE SP4 es un sistema de palpado con hasta 4 manipuladores, mientras que el SMARPROBE SP8 viene con hasta 8 manipuladores. Cada uno de los manipuladores tiene 3 grados de libertad y está equipado con codificadores ópticos de resolución nanométrica para un palpado eléctrico de alta precisión. Las rutinas de posicionamiento inteligentes implementadas en el software de control específico y la capacidad de cargar hasta cuatro muestras de SEM aumentan la facilidad de funcionamiento y el rendimiento general de cualquier tarea de nano-prospección. El robusto diseño mecánico garantiza la máxima estabilidad y facilidad de manejo. Los sistemas de sondeo son compatibles con una amplia variedad de FIBs, SEMs y microscopios ópticos y, por tanto, son perfectamente adecuados para adaptar las configuraciones de sondeo existentes y para la integración en nuevos instrumentos. Los sistemas de sondeo SMARPROBE permiten realizar técnicas de caracterización eléctrica, desde EBIC/EBAC de 2 contactos hasta mediciones de sondeo de 4 y 6 puntos, lo que convierte al SMARPROBE en una herramienta indispensable para su laboratorio de análisis de fallos. Manipulador con montaje de sonda - XYZ de bucle cerrado Número de manipuladores - ≤ 4 / ≤ 8 Etapa de muestreo - XYZ de bucle cerrado Control - Punto y clic, joystick Área de palpado [mm] - 25 x 25 Rango de exploración en XYZ1 [µm] - 3 Deriva térmica2 [nm/min] - 1 - 10