Enfriador de circulación para la industria de los semiconductores Nikola series

con condensación de aguatermoeléctrico

ENFRIADORES DE SEMICONDUCTORES Nikola 3K/5K Enfriadores termoeléctricos de alta capacidad para el grabado por plasma y otras aplicaciones de semiconductores Nuestros enfriadores de mayor capacidad diseñados específicamente para el procesamiento de semiconductores 3.000 o 5.000 vatios de capacidad de refrigeración Estabilidad/repetibilidad de la temperatura de ±0,05°C Dos opciones de bombas para caudales de hasta 10 gpm y presiones de hasta 100+ psig Reduce las variaciones entre obleas y elimina el efecto de la primera oblea Hasta un 80% más de eficiencia energética que los enfriadores basados en compresores Utiliza tecnología termoeléctrica para una alta fiabilidad y un coste de mantenimiento reducido Diseño modular para facilitar el mantenimiento Elimina el freón y otros refrigerantes nocivos para cumplir con la nueva normativa medioambiental Utiliza menos agua de las instalaciones y refrigerantes caros, como Fluorinert o Galden Interfaces de comunicación disponibles para los sistemas AMAT, LAM, TEL e Hitachi Alimentación universal: conéctese y vaya a cualquier parte del mundo Una solución excelente para el grabado por plasma, la ceniza de plasma, la metrología, la CMP y otros procesos