Unidad de control de temperatura a bordo; funciona con la fuente de alimentación conmutada o con el controlador de fuente de alimentación/temperatura para reemplazar un enfriador remoto.
Control de temperatura química de un solo paso, de bajo flujo
Enfriamiento directo del fluido de proceso en bancos húmedos
Para los tanques químicos de semiconductores
Tanques de 5-30 galones (Cleanstream 1100)
Tanques de 10 a 100 galones (Cleanstream 1100x2)
Rango de operación: - 10°C a 35°C
Temperatura ambiente: - 10°C a 40°C sin condensación
Estabilidad / Repetibilidad: - ± 0,05°C (con configuración típica)
Capacidad de refrigeración: - 1100 vatios a 25°C con agua de la instalación a 20°C
Capacidad de calentamiento: - 1100 vatios a 25°C con agua de la instalación a 20°C
Fluido de proceso: - Hasta un 50% de solución de HF, disolventes orgánicos, otros fluidos compatibles con PFA Teflón, baños galvánicos
Facility Water: -
3-6 gpm (11-23 lpm) @ 10-35°C agua de refrigeración de la instalación filtrada y tratada con un pH: 6,5 a 8,2
Velocidad de flujo de los fluidos del proceso: -
4-10 gpm (15-38 lpm) con flujo paralelo (4:1 accesorios)
0.5-2 gpm (2-8 lpm) con flujo en serie (Opción de bajo flujo)
Presión máxima: -
Proceso: 90 psig
Instalación: 100 psig
Accesorios de teflón: - 3/4" o 1" Flaretek, o talón de tubo de teflón
Accesorios de agua de las instalaciones - 3/8" NPT hembra
Materiales mojados: -
Proceso: HDPFA Teflón
Facilidad: Aluminio anodizado impregnado de teflón
Tamaño (L x W x H): -
17.5" x 11.25" x 4.65" (44.4 cm x 28.6 cm x 11.8 cm) con aislamiento
40,6 cm x 24,8 cm x 8,0 cm (16" x 9,75" x 3,15") sin aislamiento
Peso: - 38 libras (17 kg)
Requerimientos de energía
(unidad separada): - Switchback 6600 ajustado a 0-144 VDC, 0-24 Amperios
Estándares - Semi S2-0200, conforme a F47, CE
Garantía: - 2 años
---