REFRIGERADORES PARA SEMICONDUCTORES
ThermoRack 1801
Enfriador de rack de mayor capacidad para el grabado por plasma y otras aplicaciones de semiconductores
1.800 vatios de capacidad de refrigeración - un 50% más de capacidad que el ThermoRack 1201 en la misma caja de montaje en rack 5U
Estabilidad/repetibilidad de la temperatura de ±0,05°C
Rango de funcionamiento de -20°C a 70°C
Diseñado para una respuesta muy rápida
Disponible en configuraciones estándar de flujo alto, flujo medio y flujo bajo
Reduce las variaciones entre obleas y elimina el efecto de la primera oblea
Hasta un 80% más de eficiencia energética que los enfriadores basados en compresores
Utiliza tecnología termoeléctrica para una alta fiabilidad y un menor coste de mantenimiento
Diseño sencillo: sólo 2 piezas móviles
Elimina el freón y otros refrigerantes nocivos para cumplir con la nueva normativa medioambiental
Utiliza menos agua de la instalación y refrigerantes caros, como Fluorinert o Galden
Tamaño compacto: Hasta 6 sistemas TR1801 caben en el espacio de una enfriadora de compresor
Interfaces de comunicación disponibles para los sistemas AMAT, LAM, TEL e Hitachi
Alimentación universal: conéctese y vaya a cualquier parte del mundo
Una solución excelente para el grabado por plasma, la ceniza de plasma, la CMP y otros procesos
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