Paneles de control de presión para gases semiconductores de calidad 6.0
Válvula de gas residual
Válvula manual (neumática) de gas de proceso (EMO-)
Prefiltro
Regulador de presión
Disco de ruptura
Filtro para el suministro de gas de proceso sin partículas
Todas las piezas que entran en contacto con el gas están fabricadas en acero inoxidable 1.4404 ESU, así como en Hastelloy C y PCTFE
100 % de helio a prueba de fugas
Montaje en sala blanca clase 100/10
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