Paneles de control de presión para gases semiconductores de calidad 6.0
Válvula de gas residual
Válvula manual (neumática) de gas de proceso (EMO-)
Válvula de purga de gas
Válvula de retención para evitar que el gas de proceso vuelva a fluir hacia la tubería de gas de manómetro
Prefiltro
Regulador de presión
Disco de ruptura
Filtro para el suministro de gas de proceso sin partículas
Válvula de cierre de la línea de gas de proceso
Todas las piezas que entran en contacto con el gas están fabricadas en acero inoxidable 1.4404 ESU, así como en Hastelloy C y PCTFE
100 % de helio a prueba de fugas
Montaje en sala blanca clase 100/10
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